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開展計量科學研究 支撐科創高地建設
- 分類：行業新聞
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2020-11-10
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【概要描述】【儀表網儀表產業】近日，浙江省計量院戚海洋博士承擔的“基于聲表面波技術快速無損檢測低介電常數材料的機械特性的應用基礎研究”獲批2021年度浙江省科技廳公益技術應用研究項目。
開展計量科學研究 支撐科創高地建設
【概要描述】【儀表網儀表產業】近日，浙江省計量院戚海洋博士承擔的“基于聲表面波技術快速無損檢測低介電常數材料的機械特性的應用基礎研究”獲批2021年度浙江省科技廳公益技術應用研究項目。
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- 發布時間：2020-11-10
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【儀表網儀表產業】近日，浙江省計量院戚海洋博士承擔的“基于聲表面波技術快速無損檢測低介電常數材料的機械特性的應用基礎研究”獲批2021年度浙江省科技廳公益技術應用研究項目。
低介電常數材料(low-k)在傳感器、納米技術和微電子等領域都有著廣泛的應用，但其較差的機械特性制約了材料的應用。目前，關于low-k材料機械特性的表征還存在表征結果不準確，有損，測試時間長，測試設備昂貴、尺寸較大等問題。近日，省計量院戚海洋博士承擔的“基于聲表面波技術快速無損檢測低介電常數材料的機械特性的應用基礎研究”獲批2021年度浙江省科技廳公益技術應用研究項目。
“基于聲表面波技術快速無損檢測低介電常數材料的機械特性的應用基礎研究”項目將基于超聲表面波技術，深入研究low-k材料機械特性的在線無損表征，擬解決low-k材料機械特性計量檢測中相應的關鍵科學問題和技術難點。成果可服務于low-k材料研發和生產中的檢測需求，實現在線檢測，提高檢測準確性，降低檢測造成的損失。課題契合我省打造“互聯網+”、生命健康、新材料三大科創高地思路，對我國集成電路行業和信息技術產業的發展具有重要意義。
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